Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
| Вес: | 291 |
| Ширина упаковки: | 135 |
| Высота упаковки: | 15 |
| Глубина упаковки: | 205 |
| crossborder: | false |
| Серия: | Профессиональное образование |
| Издательство: | Юрайт |
| Тираж: | 40 |
| Мелованная бумага: | false |
| Цветные иллюстрации: | false |
| Фрагмент PDF: | https://cdn1.ozone.ru/multimedia/1010595838.pdf |
| Размер упаковки (Длина х Ширина х Высота), см: | 20,5 х 13,5 х 1,5 |
| Название: | Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие |
| Тип издания: | Отдельное издание |
| Признак 18+: | false |
| Учебный период: | Студентам ВУЗов, Аспирантам, соискателям |
| Основной жанр книги: | Учебная литература |
| Тип книги: | Печатная книга |
| Тип обложки: | Твердый переплет |
| Тип носителя: | Печатная книга |
| Эпоха публикации: | Современные издания |
| ebsmstock: | false |
Frame $60% в наличии