Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Для студентов высших учебных заведений.
| Тип издания: | Отдельное издание |
| Тип обложки: | Твердый переплет |
| Тираж: | 2000 |
Frame $60% в наличии