В книге представлены результаты исследований по лазерному синтезу полупроводниковых пленок на основе диоксида олова для газовых сенсоров, изучению влияния структуры, состава и энергетических параметров плазмы легирующих металлов на электрофизические характеристики, определяющие газочувствительность пленок. Актуальность данной работы обусловлена не только широким распространением метода лазерной абляции для синтеза пленок, но и практическим применением сенсоров на основе диоксида олова для детектирования токсичных и взрывоопасных газов. Проведен анализ литературы по экспериментальным и теоретическим исследованиям лазерной плазмы, методам лазерного синтеза оксидных пленок и модификации поверхностных свойств материалов при плазменном и ионном воздействии, приведены основные результаты экспериментов по электростатическому зондированию и измерению зарядового состава и структуры лазерной плазмы Pd и Pt, морфологии, профилей распределения легирующих металлов по толщине пленок SnO2,...
