Описаны основные этапы промышленного изготовления интегральных микросхем. Рассмотрены свойства и основные виды активных и пассивных элементов интегральных схем, их конструкции и области применения. Приведены сведения о планарном процессе изготовления интегральных микросхем, а также рассмотрены процессы ионной имплантации и лазерной обработки. Книга предназначена для средних профтехучилищ, готовящих рабочих полупроводникового производства.
Frame $60% в наличии