Монография посвящена разработке резистивных полупроводниковых сенсоров для атмосферного мониторинга и исследований в области химии атмосферы. Разработаны методики получения сенсоров с характеристиками, удовлетворяющими требованиям мониторинга атмосферного озона. Исследовано влияние внешних условий на характеристики сенсоров: конструкция сенсора и сенсорной камеры, температура и скорость потока воздуха. Предложен алгоритм восстановления концентрации озона по данным полупроводникового сенсора при стационарных и нестационарных измерениях. Приведены результаты полевых испытаний макетных образцов анализатора озона, разработанного на базе полупроводниковых сенсоров, проводимых на метеообсерватории МГУ им. М.В. Ломоносова и в экспедициях. В связи с проблемой воздействия повышенных концентраций атмосферного озона на конструкционные материалы разработана методика исследования эффективности захвата озона микроволокнистыми и другими материалами с использованием полупроводниковых сенсоров.