Рассматриваются различные методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем с позиций их применимости для неразрушающего и оперативного контроля в процессе производства. Указаны пути совершенствования и оценены предельные возможности каждого из методов. Приводятся рекомендации по выбору структурных схем и алгоритмов для решения задачи автоматизации процесса измерения.
Для инженерно-технических работников.
Для инженерно-технических работников.
| Вес: | 185 |
| Ширина упаковки: | 150 |
| Высота упаковки: | 10 |
| Глубина упаковки: | 215 |
| crossborder: | false |
| Издательство: | Радио и связь |
| Тираж: | 9000 |
| Мелованная бумага: | false |
| Страна произведения: | Русская литература |
| Название: | Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве |
| Издатель: | Радио и связь |
| Вес товара, г: | 190 |
| Вид издания: | Букинистическое издание |
| Сохранность: | Хорошая |
| Тип издания: | Отдельное издание |
| Возрастные ограничения: | 0+ |
| Сфотографировано фотостолом: | true |
| Период публикации: | Современная литература |
| Основной жанр книги: | Научная литература |
| Происхождение произведения: | Русская литература |
| Тип книги: | Букинистика |
| Тип обложки: | Мягкая обложка |
| Тип носителя: | Печатная книга |
| Эпоха публикации: | Букинистические издания |
| ebsmstock: | false |
Frame $60% в наличии