В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров "Электроника и микроэлектроника". Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов "Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника" и другим направлениям.